
產(chǎn)品分類(lèi)
products category
產(chǎn)品中心/ products

RIBE反應(yīng)離子束刻蝕
產(chǎn)品型號(hào):NIE-4000(R)
廠商性質(zhì):代理商
更新時(shí)間:2025-09-17
訪 問(wèn) 量:4616
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RIBE反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)
NIE-4000(R)RIBE反應(yīng)離子束刻蝕產(chǎn)品概述:如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無(wú)法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過(guò)加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會(huì)使得基片和光刻膠過(guò)熱。除非可以找到有效的方式消除熱量,否則光刻膠將變得非常難以去除。
NANO-MASTER技術(shù)已經(jīng)證明了可以把基片溫度控制在50° C以?xún)?nèi)的同時(shí),旋轉(zhuǎn)晶圓片以達(dá)到想要的均勻度。
NIE-4000(R)產(chǎn)品特點(diǎn):
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